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Omega-欧米伽
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气体质量流量计FMA-A2000
规格:
 
精度: 满量程的±1%(包括线性度)
重复性: 满量程的±0.15%或者更佳
量程比: 100:1
响应时间: 5秒
气体环境温度: 0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
温度系数: 每1°C为满量程的0.05%或更佳
压力系数: 每psi为满量程的0.01%或更佳
最低压力要求:
    流量计: 1英寸水柱
最大流速为1 SLM的控制器: 1 psi
流速大于20 SLM的控制器: 20 psi
质量流量控制器的压差: <5 LPM,5 ~ 50 psi(标准)
>5 LPM,20 ~ 40 psi(标准)
气体最大压力:
    聚甲醛: 250 psig
316不锈钢: 500 psig
泄漏完整性: 1 x10-6 cc/min氦气或更佳
接液部件:
    标配: 聚甲醛、氟橡胶O形圈
选配: 316不锈钢、氟橡胶O形圈
连接口: ? FNPT(标配);
?"压合接头(适用于所有不锈钢型号流量计)
输入/输出连接口: 9针sub-D连接器
控制信号: 0 ~ 5 Vdc
控制阀: 常闭电磁阀
输出信号: 线性0 ~ 5 Vdc(最小负载1000 ?),4 ~ 20 mA(环路电阻500 ?)
安装螺纹:
    316不锈钢壳体: 6?32"螺纹
聚甲醛材料: #4/6自攻螺丝
输入电源:
    流量计: 24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac(带交流适配器)
控制器: 24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac(带交流适配器)
外形尺寸: 参见图纸
重量: 1.25 kg (2.75 lb)(含电源)

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